旋片真空泵的工作原理基于其內(nèi)部的容積變化。泵腔內(nèi)裝有轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子被偏心地裝入定子腔內(nèi),并在轉(zhuǎn)子槽中裝有兩塊旋片。當(dāng)轉(zhuǎn)子在定子腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時,旋片在彈簧張力與本身離心力的共同作用下緊貼于泵腔內(nèi)壁滑動。這種運動將泵腔分隔成多個可變?nèi)莘e的空間,隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn),這些空間的容積不斷變化,從而實現(xiàn)氣體的吸入、壓縮和排出。
主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧、排氣閥和油箱等組成。其中,定子是泵的外殼,轉(zhuǎn)子被偏心地裝入定子腔內(nèi),旋片則裝在轉(zhuǎn)子槽中。彈簧用于保持旋片與泵腔內(nèi)壁的緊密接觸,排氣閥用于控制氣體的排出。油箱則用于儲存泵油,以潤滑和密封泵腔;在冶金、機械、電子、化工、輕工、石油等生產(chǎn)和科研部門都有廣泛應(yīng)用。例如,在電子行業(yè)中,可用于半導(dǎo)體制造過程中的真空環(huán)境創(chuàng)建。
旋片真空泵的優(yōu)點:
可靠性高:結(jié)構(gòu)簡單,維護成本低,且其高速旋轉(zhuǎn)的工作原理使其具有高抽速、高真空度等特點。這使得它在需要可靠真空環(huán)境的場合中具有明顯優(yōu)勢。
節(jié)能環(huán)保:在工作過程中無需使用油潤滑,這減少了對環(huán)境的污染,符合現(xiàn)代工業(yè)對節(jié)能環(huán)保的要求。同時,這也降低了使用成本和維護難度。
使用壽命長:結(jié)構(gòu)簡單且使用材料制造,因此其壽命較長,可連續(xù)工作時間長達數(shù)小時,一般可使用數(shù)年之久。
結(jié)構(gòu)緊湊:體積小巧,占地面積小,便于安裝和維護。這使得它在空間有限的場合中也能得到廣泛應(yīng)用。
運行平穩(wěn):運行平穩(wěn),噪音相對較低。雖然仍存在噪聲問題,但現(xiàn)代技術(shù)已在一定程度上降低了噪音水平,使其更加適用于對噪音有要求的場合。
在使用旋片真空泵時,需要注意以下幾點:
1.要定期檢查泵油的油位和質(zhì)量,確保泵油清潔并符合規(guī)定。
2.在啟動泵前,應(yīng)檢查冷卻水是否接通,以及電源方向和泵旋轉(zhuǎn)方向是否正確。
3.在運轉(zhuǎn)過程中,要注意觀察泵的運行狀態(tài),如有異常噪聲或沖擊聲應(yīng)立即停泵檢查。
4.停泵時應(yīng)先關(guān)閉被抽系統(tǒng)閥門,再斷開電源和水源。